最小孔径至0.02mm,适用于金属和陶瓷等精密微孔加工。

高功率光纤激光器发射激光,振镜高速精密偏转激光,配合精密远心场镜聚焦,实现对薄板材料(厚度小于1mm,铝、铜、不锈钢、各类陶瓷等)高速精密切割打孔和冲击打孔,通过直线XY平台扩展加工幅面,孔的一致性极佳,切割光滑,孔壁垂直性好。

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1.     精心选用高功率红外光纤激光器烧蚀材料,最小20μm加工光斑

2.     通过精密振镜高速高精度控制光束偏移,实现小幅面高速精密蚀刻加工

3.     通过分离式龙门XY精密平台平移实现大幅面精密加工

4.     Z轴电动可调,以适应不同厚度材料,满足立体结构蚀刻要求

5.     旁轴高分辨率工业相机可选,以实现高精度定位和大幅面精密拼接加工。

6.     可用于加工金属、陶瓷材料,实现蚀刻、盲孔、通孔、开槽、切割等

7.     最小加工线宽(孔径)20μm,加工范围300*300mm可定制

8.     所有零件精心选配,满足工业7/24小时连续运行


应用范围:

消费电子、仪器仪表、微电子器件制造、模具成型



类别

参数

FM-SD50

 

 

激光器

波长

1064

功率

50W

调制频率

40~1000kHz

光束质量M2

1.3

功率稳定性(8h

3%

 

 

振镜

扫描范围

50*50mm

重复精度

1μm

定位精度

≤±20μm

扫描速度

3.5m/s

定位速度

10m/s

 

 

XY工作台

行程

300*300mm(可定制)

重复精度

≤±5μm

定位精度

≤±20μm

加速度

0.5G

速度

200mm/s

 

Z

行程

200mm

重复精度

≤±3μm

定位精度

≤±5μm

CCD监测定位

(可选)

光学倍率

10X

相机像素

500

区域拼接

精度

±20μm

 

 

 加工能力

最小孔径

20μm

加工厚度

1mm

小孔加工精度

±5μm

最大深宽比

20:1

加工材料

硅片、金属及合金、陶瓷

冷却

风冷

吸尘

三重粉尘净化

电力

220V 50~60Hz 12A

功耗

1200W

尺寸

1000*1000*1700mm

 







































【注】以上参数随着加工材料和设备升级会有所变动,以公司最新报价为准。


气体传感器扩散孔


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植入血管激光打孔


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喷油嘴微孔


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医用缝针压线孔

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