最小孔径至0.02mm，适用于金属和陶瓷等精密微孔加工。
高功率光纤激光器发射激光，振镜高速精密偏转激光，配合精密远心场镜聚焦，实现对薄板材料（厚度小于1mm,铝、铜、不锈钢、各类陶瓷等）高速精密切割打孔和冲击打孔，通过直线XY平台扩展加工幅面，孔的一致性极佳，切割光滑，孔壁垂直性好。
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1. 精心选用高功率红外光纤激光器烧蚀材料，最小20μm加工光斑
2. 通过精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现小幅面高速精密蚀刻加工
3. 通过分离式龙门XY精密平台平移实现大幅面精密加工
4. Z轴电动可调，以适应不同厚度材料，满足立体结构蚀刻要求
5. 旁轴高分辨率工业相机可选，以实现高精度定位和大幅面精密拼接加工。
6. 可用于加工金属、陶瓷材料，实现蚀刻、盲孔、通孔、开槽、切割等
7. 最小加工线宽（孔径）20μm，加工范围300*300mm可定制
8. 所有零件精心选配，满足工业7/24小时连续运行
应用范围：
消费电子、仪器仪表、微电子器件制造、模具成型
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类别 |
参数 |
FM-SD50 |
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激光器 |
波长 |
1064 |
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功率 |
50W |
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调制频率 |
40~1000kHz |
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光束质量M2 |
＜1.3 |
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功率稳定性（8h） |
＜3% |
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振镜 |
扫描范围 |
＜50*50mm |
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重复精度 |
＜1μm |
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定位精度 |
≤±20μm |
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扫描速度 |
≤3.5m/s |
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定位速度 |
≤10m/s |
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XY工作台 |
行程 |
300*300mm（可定制） |
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重复精度 |
≤±5μm |
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定位精度 |
≤±20μm |
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加速度 |
≤0.5G |
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速度 |
≤200mm/s |
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Z轴 |
行程 |
200mm |
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重复精度 |
≤±3μm |
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定位精度 |
≤±5μm |
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CCD监测定位 （可选） |
光学倍率 |
10X |
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相机像素 |
500万 |
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区域拼接 |
精度 |
±20μm |
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加工能力 |
最小孔径 |
20μm |
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加工厚度 |
≤1mm |
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小孔加工精度 |
±5μm |
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最大深宽比 |
＞20:1 |
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加工材料 |
硅片、金属及合金、陶瓷 |
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冷却 |
风冷 |
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吸尘 |
三重粉尘净化 |
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电力 |
220V 50~60Hz 12A |
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功耗 |
≤1200W |
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尺寸 |
1000*1000*1700mm |
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【注】以上参数随着加工材料和设备升级会有所变动，以公司最新报价为准。
气体传感器扩散孔
植入血管微孔加工50微米
喷油嘴微孔0.172mm
医用缝针盲孔微孔加工:孔径0.5mm深度2mm，外径0.7mm
