紫外皮秒激光超精细加工,最小线宽(孔径)4μm,加工幅面300*300mm,可定制,精度±3μm。

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1.     采用进口高功率高稳定紫外皮秒激光器直接烧蚀气化材料,无热影响区,最小4μm加工光斑。

2.     通过精密振镜高速高精度控制光束偏移,实现小幅面高速精细加工,加工精度优于±3μm,局部尺寸精度优于2μm。

3.     通过高精度直线电机驱动平台平移实现大幅面精密加工,重复精度高达±1μm。

4.     Z轴电动可调,以适应不同厚度材料,满足立体结构精细加工要求。

5.     旁轴高分辨率工业网口相机用于振镜全幅面误差校正,保证系统长期使用稳定性和精度;同时,用于高精度对焦,刻蚀深度测量以及加工尺寸测量。

6.     支持工件高精度定位加工,自带偏移补偿功能。

7.     系统采用大理石台面,提升系统的综合稳定性,所有机械部件精心选配以保证长期精度。

8.     可用于加工玻璃、有机物、金属、陶瓷等基本所有固体材料,实现蚀刻、盲孔、通孔、开槽、切割等。

9.     最小加工线宽5μm,加工范围300*300mm可定制。

应用范围:

生物芯片制备、半导体柔性电路板切割、ITO膜层蚀刻、微电子器件制造、印刷模板制备、精密微型模具成型

参数:

类别

参数

FM-UVPM3A

FM-UVPM3B

   

激光器

波长

355nm

功率

3W@100kHz

调制频率

1~1000kHz

脉宽

7ps@100kHz

光束质量M2

1.2

  振镜

扫描范围

50*50mm

<15*15mm

重复精度

1μm

定位精度

≤±3μm

  

XY工作台

行程

300*300mm

定位分辨率

0.1μm

重复精度

≤±1μm

定位精度

≤±3μm

加速度

1G

速度

200mm/s

  Z

行程

150mm

重复精度

≤±3μm

定位精度

≤±5μm

  CCD监测定位

相机

500万像素

光学倍率

10X

区域拼接

精度

±3μm

加工能力

最小光斑

7μm

4μm

系统加工精度

±4μm

重复精度

≤±1μm

加工材料

玻璃、有机物、金属、陶瓷、金刚石等

冷却

水冷(2000W制冷量)

吸尘

三重粉尘净化

电力

220V 50~60Hz

功耗

3000W

尺寸

2000*1510*1955mm

重量

2000Kg















































【注】恒温(25±0.5℃),预热30分钟之后获得

 

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