飞秒激光微纳加工
三维铣削、精密切割、超精细孔加工、超大幅面微细结构加工
应用范围：
医疗器械、微电子器件制造、精密微型模具成型、精细掩膜制作
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1. 采用高功率高稳定飞秒紫外激光直接烧蚀气化材料，微米级加工线宽，无热影响区。
2. 通过精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现小幅面高速精细加工，加工精度优于±3μm，局部尺寸精度优于2μm。
3. 通过高精度直线电机驱动平台平移实现大幅面精密加工，重复精度高达±1μm。
4. Z轴电动可调，以适应不同厚度材料，满足立体结构精细加工要求。
5. 适配精密旋转轴，可对薄壁管进行精细结构成型。
6. 高倍率旁轴高分辨率工业网口相机用于刻蚀深度测量以及加工尺寸测量。
7. 低倍率旁轴高分辨率工业相机，用于振镜全幅面误差校正，保证系统长期使用稳定性和精度；同时，用于高精度定位和对焦，对工件高精度定位加工，补偿夹具、装夹、工件尺寸误差。
8. 最大支持256个图层参数加工，支持dxf、AI、PNG等矢量和图片文件加工。
9. 采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度。
10. 可用于加工玻璃、有机物、金属、陶瓷等基本所有固体材料，实现精细蚀刻、盲孔、通孔、开槽、切割等。
11. 设备使用方便，功耗低、免维护、无耗材，工业化24小时连续运行。
应用范围：
医疗器械、微电子器件制造、精密微型模具成型、精细掩膜制作
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类别 |
参数 |
FM-UVFM-10A |
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激光器 |
波长 |
355nm |
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功率 |
＞10W@500kHz |
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调制频率 |
1~1000kHz |
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脉宽 |
<500fs@100kHz |
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光束质量M2 |
＜1.3 |
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振镜 |
扫描范围 |
＜50*50mm |
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重复精度 |
＜1μm |
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定位精度 |
≤±3μm |
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XY工作台 |
行程 |
500*400mm |
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定位分辨率 |
0.1μm |
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重复精度 |
≤±1μm |
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定位精度 |
≤±3μm |
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加速度 |
≤1G |
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速度 |
≤200mm/s |
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Z轴 |
行程 |
150mm |
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重复精度 |
≤±3μm |
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定位精度 |
≤±5μm |
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R轴 |
跳动 |
<0.01mm |
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夹持管径 |
最小0.8mm |
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CCD监测定位 |
相机 |
500万像素 |
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光学倍率 |
10X |
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区域拼接 |
精度 |
±3μm |
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加工能力 |
最小线宽 |
7μm(或者4μm) |
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系统加工精度 |
±4μm |
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重复精度 |
≤±1μm |
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加工材料 |
玻璃、有机物、金属、陶瓷、金刚石等 |
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冷却 |
水冷（2000W制冷量） |
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吸尘 |
三重粉尘净化 |
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电力 |
220V 50~60Hz |
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功耗 |
≤3000W |
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尺寸 |
1700*1300*1950mm |
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重量 |
2000Kg |
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【注】恒温（25±0.5℃），预热30分钟之后获得
