设备简介：
脉冲激光刻蚀依托超短脉冲冷加工特性，无热损伤、无机械应力，具备微米至亚微米级超高加工精度。超短脉冲激光配合多轴振镜扫描及多轴高精度运动，辅助真空吸附、高精度视觉对位和共聚焦深度测量、吹气吸尘装置等，可以对陶瓷、金属、聚合物、玻璃等医用材料进行高精度二维微结构加工与三维立体成型。
主要用途：
可应用于微流控芯片、组织工程支架、植入医疗器械、生物传感、超声成像、脑机接口等生物医学领域，是精准医用微纳器件制备与生物组织改性的核心技术。
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1. 采用高功率高稳定飞秒紫外激光直接烧蚀气化材料，微米级加工线宽，无热影响区。
2. 通过精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现小幅面高速精细加工，加工精度优于±3μm，局部尺寸精度优于2μm。
3. 通过高精度直线电机驱动平台平移实现大幅面精密加工，重复精度高达±1μm。
4. Z轴电动可调，以适应不同厚度材料，满足立体结构精细加工要求。
5. 可选配精密旋转轴，可对薄壁管进行精细结构成型。
6. 高倍率旁轴高分辨率工业网口相机用于刻蚀深度测量以及加工尺寸测量。
7. 低倍率旁轴高分辨率工业相机，用于振镜全幅面误差校正，保证系统长期使用稳定性和精度；同时，用于高精度定位和对焦，对工件高精度定位加工，补偿夹具、装夹、工件尺寸误差。
8. 三维图形的高速精确扫描：优于0.1μm的3D切片分层软件处理，优于0.1μm的扫描分辨率，局部精度优于2μm，支持螺旋轨迹扫描切割
9. 辅助吸气过滤装置，改善加工效果，保证加工区域洁净。
10. 采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度。
11. 可用于加工玻璃、有机物、金属、陶瓷等基本所有固体材料，实现精细蚀刻、盲孔、通孔、开槽、切割等。
12. 设备使用方便，功耗低、免维护、无耗材，工业化24小时连续运行。
类别
参数
FM-UVFM-10A
激光器
中心波长
343±2nm
功率
＞10W@500kHz
调制频率
1~1000kHz
脉宽
＜500fs@500kHz
振镜
分辨率
0.04μm
扫描速度
≥3 m/s
重复精度
≤1μm
定位精度
≤±1μm
扫描范围
≥15*15mm
XYZ运动平台
XYZ行程
300*300*150mm
XY轴定位分辨率
0.1μm
XY轴重复精度
≤±1μm
XY轴定位精度
≤±3μm
Z轴定位精度
≤±5μm
CCD定位
相机
500万像素（2套）
加工能力
加工平面和异形结构材料，切割、表面微结构，无烧蚀，聚焦光斑5~15μm可调整
陶瓷样品：最小加工槽宽≤4μm，间距＜15μm，16*4mm范围精度优于±1μm，可加工10μm无锥度槽，槽深＞75μm，槽中心距＜25μm，长度＞4mm
三维图形的高速精确扫描：优于0.1μm的3D切片分层软件处理，优于0.1μm的扫描分辨率，局部精度优于2μm，支持螺旋轨迹扫描切割
高级功能
视觉定位和检测
高倍率和低倍率双相机同时支持定位和检测，易于使用；Z向深度的激光光谱共聚焦精确测定：分辨率优于20nm，精度优于±0.1μm，量程不低于±1800μm
真空吸附
配备真空吸附夹具，尺寸＞100*100mm，平面度优于0.005mm
在机激光功率检测
保证长期加工工艺稳定可重复
冷却
水冷（1500W制冷量，0.1℃温控精度）
吹气
可切换不同气源，调节压力，更换吹气喷嘴
吸尘
适合万级洁净室需求，具有三重过滤功能
电力
220V 50~60Hz 20A，良好接地（接地电阻 <4 Ω）
功耗
≤3000W
工作环境
温度：22~24℃ 湿度：45%~65%
安装要求
安装承重：800kg每平方
安装使用面积：3.5m*2.5m*2.4m (宽*深*高)
远离震动源
尺寸
1400*1700*1900mm
重量
1600Kg
