紫外激光精密加工系统说明书V1.0

激光蚀刻主要通过高能量密度激光能量将材料汽化实现，图形蚀刻是通过振镜高速高精密偏转激光光束实现。通过直线电机平台、高倍CCD、高精度振镜、高稳定机械结构、恒温环境综合保证激光蚀刻的精度。系统具有以下特点：

1. 采用高功率高稳定紫外激光器直接烧蚀气化材料，μm级热影响区；

2. 通过进口精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现小幅面高速精密加工；

3. 通过微米级高速直线电机平台平移实现大幅面微加工；

4. Z轴电动可调，方便对焦；

5. 旁轴超分辨率工业相机用于振镜全幅面误差校正，超高精度对焦以及零件二次加工定位；

6. 在线检测激光加工的效果，快速优化加工工艺；

7. 系统采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度；

8. 最小加工线宽5μm，整体加工精度±3微米，加工范围可定制标准300*300mm。