激光微孔加工-6μm孔

激光精密微孔加工相比电火花微细孔加工、机械钻孔、化学腐蚀、机械冲孔等等，具有以下优点：

高速（最高每秒4000孔）

高精度（＜3μm）

无材料限制（金属、陶瓷、硅片、有机物等等）

孔型可编程（最小入口5μm，出口1~2μm、特定锥度孔）

分布可定制（加工幅面300mm*300mm)，无需模具和掩膜

无污染无耗材

直接加工

费米激光提供的激光微孔打孔设备，最小加工微孔孔径（线宽）5μm，整体加工精度±4μm，局部特征精度＜3μm，加工幅面300*300mm，用于金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料精密盲孔、通孔、开槽、切割加工等。