玻璃微孔加工

材料:玻璃

厚度:5mm

孔径:0.8mm与1.1mm  出入空

         4mm定位盲孔

          5mm沉孔

应用:生物反应测试



激光精密微孔加工相比电火花微细孔加工、机械钻孔、化学腐蚀、机械冲孔等等,具有以下优点:

高速(最高每秒4000孔)

高精度(<3μm

无材料限制(金属、陶瓷、硅片、有机物等等)

孔型可编程(最小5μm、特定锥度孔)

分布可定制(加工幅面300mm*300mm),无需模具和掩膜

无污染无耗材

直接加工

 

费米激光提供的激光微小孔加工设备,最小加工微孔孔径(线宽)5μm,整体加工精度最高±2μm,局部特征精度<2μm,加工幅面300*300mm,用于金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料精密盲孔、通孔、开槽、切割加工等。