玻璃微孔加工
材料:玻璃
厚度:5mm
孔径:0.8mm与1.1mm 出入空
4mm定位盲孔
5mm沉孔
应用:生物反应测试
激光精密微孔加工相比电火花微细孔加工、机械钻孔、化学腐蚀、机械冲孔等等,具有以下优点:
高速(最高每秒4000孔)
高精度(<3μm)
无材料限制(金属、陶瓷、硅片、有机物等等)
孔型可编程(最小5μm、特定锥度孔)
分布可定制(加工幅面300mm*300mm),无需模具和掩膜
无污染无耗材
直接加工
费米激光提供的激光微小孔加工设备,最小加工微孔孔径(线宽)5μm,整体加工精度最高±2μm,局部特征精度<2μm,加工幅面300*300mm,用于金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料精密盲孔、通孔、开槽、切割加工等。