材料:紫铜

厚度:50um

孔径:400um

采用费米激光开发的微孔加工技术,保证孔的圆度,精度,无毛刺,热效应小。


激光精密微孔加工相比电火花微细孔加工、机械钻孔、化学腐蚀、机械冲孔等等,具有以下优点:

高速(最高每秒4000孔)

高精度(<3μm

无材料限制(金属、陶瓷、硅片、有机物等等)

孔型可编程(最小5μm、特定锥度孔)

分布可定制(加工幅面300mm*300mm),无需模具和掩膜

无污染无耗材

直接加工

 

费米激光提供的激光微孔打孔设备,最小加工微孔孔径(线宽)5μm,整体加工精度±4μm,局部特征精度<3μm,加工幅面300*300mm,用于金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料精密盲孔、通孔、开槽、切割加工等。

 主要用于:半导体柔性电路板切割、ITO膜层蚀刻、微电子器件制造、印刷模板制备、生物芯片制备、精密模具成型、精密仪器仪表