激光精密蚀刻系统

微结构加工

最小加工线宽5μm，整体加工精度±4μm，局部特征精度＜2μm，加工幅面300*300mm，以玻璃、蓝宝石、金属、陶瓷、有机物等为基底的激光精密蚀刻。