最小加工微孔孔径5μm，整体加工精度±4μm，局部特征精度＜3μm，加工幅面300*300mm，用于金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料精密微加工，如微孔加工、精密切割。
主要用于：微电子器件制造、印刷模板制备、生物芯片制备、精密模具成型、仪器仪表精密零件制造
